Titanové díly pro polovodiče

1. Ultra-kontrola uvolňování nečistot

V celém výrobním procesu přijímáme schéma zpracování keramických nástrojů a nástrojů bez{1}}železa. Všechny pomocné materiály, které jsou v kontaktu s obrobkem, procházejí třemi koly čištění kyselým praním, přičemž se přísně kontroluje celkový obsah železa, chrómu atd., aby byl v rozmezí 0,02 %. To zcela zamezuje běžnému problému s kontaminací kovovými ionty v polovodičových procesech a zabraňuje tvorbě nadměrných kovových zbytků na povrchu destičky. Snižuje riziko zkratu obvodu ze strany materiálu.

 

2. Dlouhodobá-odolnost vůči korozi

Poté, co je díl vytvořen, podstoupí dvě různé koncentrace ponoření do slabého oxidačního roztoku pro pasivaci. Na povrchu se vytvoří jednotný ochranný film oxidu titaničitého o tloušťce 8-10 nm. I při vystavení směsným roztokům zředěné kyseliny fluorovodíkové a kyseliny dusičné v procesu čištění polovodičů nepřetržitě po dobu 2000 hodin nedojde k odtržení důlků a k poškrábání povrchu destičky úlomky.

 

3. Vysoká-přesná rozměrová stabilita

Během zpracování celý proces používá sprej kapalného dusíku pro konstantní kontrolu teploty, která kontroluje deformaci generovanou během zpracování v rozmezí 0,003 mm. Před opuštěním továrny jsou hotové výrobky podrobeny 24hodinovým cyklickým testům při vysokých a nízkých teplotách. Dokonce i při dlouhodobém provozu v prostředí polovodičového procesu při 180 stupních nedojde k žádnému deformačnímu zaseknutí a žádnému deformačnímu ulpívání. Není potřeba často rozebírat a nastavovat přesnost vyrovnání.

 

4. Nízká výfuková rychlost vhodná pro vakuové prostředí

Všechny díly jsou nejprve podrobeny vakuovému vypalování při 120 stupních po dobu 48 hodin za účelem odplynění. Vodní pára a drobné částice adsorbované na povrchu jsou zcela odstraněny. Po instalaci do polovodičové vakuové komory může pomoci zařízení dosáhnout cílového stupně vakua o 25 % rychleji než při použití běžných dílů z nerezové oceli, což snižuje časovou ztrátu při čekání na vakuové čerpání.

1. Zásobník plátků pro PVD napařovací stroj

Používá se k podpoře křemíkového plátku, který má být potažen. Ve vysokoteplotním prostředí naprašování materiálu terče nebude titanová část reagovat s rozprašovacím plynem a neuvolní přebytečné nečistoty do komory, což může zlepšit rovnoměrnost vrstvy kovového filmu nanesené na povrchu plátku o 5 %, čímž se zabrání problému s únikem třísek způsobeným nedostatečnou tloušťkou kovové vrstvy. Je vhodný pro požadavky na výrobu povlaků 28nm a nižších procesů.

 

2. Nosič plátků pro stroj na mokré čištění

Při standardním čisticím procesu RCA je stojan zcela ponořen do čisticích roztoků silných kyselin a silných zásad. Titanový materiál nebude zkorodovat a nebude produkovat úlomky a nepřilne k povrchu plátku, aby způsobil kontaminaci částicemi. Může snížit míru defektů částic jednodávkového čištění destiček o 12 %. Lehká charakteristika stojanu zároveň může také snížit přenosové zatížení čisticího stroje a snížit spotřebu energie zařízení.

 

3. Sedlo pro upevnění elektrody pro stroj na implantaci iontů

Používá se k upevnění vysokonapěťových elektrod ve stroji-. Ne-magnetická vlastnost titanu nebude interferovat s trajektorií iontového paprsku, což umožňuje řídit hloubkovou odchylku implantace iontů ve velmi malém rozsahu, čímž se zabrání problému nerovnoměrné injekční dávky v místní oblasti destičky. Výrazně zlepšuje konzistenci elektrického výkonu čipu.

 

4. Příruba konektoru pro polovodičové vakuové potrubí

Propojení různých částí vakuového potrubí stroje. Nízká rychlost výfukových plynů titanu může udržovat vysoce-čisté vakuové prostředí uvnitř potrubí a nezpůsobí kolísání stupně vakua v důsledku uvolňování plynu z běžných nerezových přírub po dlouhodobém používání-. Snižuje počet alarmů odstavení stroje vyvolaných abnormálními podmínkami vakua a prodlužuje dobu nepřetržitého provozu výrobní linky o 30 %.

1. Přizpůsobení ne-standardních rozměrů

S využitím vlastního 5osého obráběcího centra lze délku, šířku a výšku dílů upravit podle instalačního prostoru stávajícího polovodičového zařízení zákazníka. Zákazník nemusí upravovat rozhraní zařízení a první vzorek může být dodán do 7 dnů.

 

2. Přizpůsobení stavu povrchu

Podle potřeby lze zvolit dva způsoby povrchové úpravy: zrcadlové leštění a matné pískování. Jsou vhodné pro různé požadavky na čistotu výrobního procesu a mohou zabránit adhezi částic, která ovlivňuje prostředí výroby polovodičů.

 

3. Přizpůsobení speciálních rozhraní

Speciální konstrukce, jako jsou speciální sloty pro karty a polohovací otvory, lze přizpůsobit tak, aby plně odpovídaly montážním požadavkům zákazníka-vyvinutého zařízení. Není třeba přidávat žádné další součásti adaptéru.

Položka	Specifikace
Název produktu	Titanové díly pro polovodiče
Materiál	Čistý titan (třída 2), slitina titanu (třída 5 Ti-6Al-4V)
Výrobní proces	CNC obrábění, soustružení, frézování, broušení, svařování
Dostupné tvary	Talíř, kroužek, trubka, tyč, blok, vlastní díly
Rozměry	Přizpůsobeno podle výkresů nebo vzorků
Tolerance	Až ±0,01 mm
Povrchová úprava	Leštěné, pískované, mořené, eloxované, přesně obrobené
Drsnost povrchu	Ra 0,2–1,6 μm (vlastní dostupné)
Čistota	Až 99,6 % (Titan 2. stupně)
Provozní teplota	Až 400 stupňů
Hustota	4,51 g/cm³
Tvrdost	2. stupeň: HB 145–200; 5. stupeň: HRC 30–36
Odolnost proti korozi	Vynikající odolnost vůči kyselinám, zásadám a procesním chemikáliím
Chemická kompatibilita	Vhodné pro polovodičové chemikálie a prostředí s ultra{0}}vysokou čistotou
Inspekce	Rozměrová kontrola, certifikace materiálu, kontrola povrchu

 

 

 

Populární Tagy: titanové díly pro polovodiče, Čína titanové díly pro výrobce polovodičů, dodavatele, továrnu